Surface reactivity and oxygen migration in amorphous indium-gallium-zinc oxide films annealed in humid atmosphere

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Surface reactivity and oxygen migration in amorphous indium-gallium-zinc oxide films annealed in humid atmosphere

著者

和文:	Ken Watanabe, 李棟煕, Isao Sakaguchi, 野村研二, 神谷利夫, Hajime Haneda, 細野秀雄, Naoki Ohashi.
英文:	Ken Watanabe, Dong-Hee Lee, Isao Sakaguchi, Kenji Nomura, Toshio Kamiya, Hajime Haneda, Hideo Hosono, Naoki Ohashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Appl. Phys. Lett.

巻, 号, ページ

Vol. 103 pp. 201904-1 - 5

出版年月

2013年

出版者

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会議名称

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開催地

和文:
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DOI