逆層交換型アルミニウム誘起シリコン結晶化プロセスにおける不純物効果の研究 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	逆層交換型アルミニウム誘起シリコン結晶化プロセスにおける不純物効果の研究
英文:	Study on Impurity Effect in Inverted Aluminum-Induced Layer Exchange Process for Polycrystalline Silicon Thin Films

著者

和文:	竹内正芳.
英文:	Masayoshi Takeuchi.

種別

種別:	学位論文(博士)論文要旨
国名:	日本

言語

Japanese

学位授与組織

東京工業大学

報告番号

甲第9490号

学位授与日

2014/03/26

審査員

近藤　道雄, 小田原　修, 吉本　護, 半那　純一, 和田　裕之.

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