傾斜ドライエッチングを用いた酸化チタンフォトニック結晶の作製と評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	傾斜ドライエッチングを用いた酸化チタンフォトニック結晶の作製と評価
英文:

著者

和文:	小林大斗, 松谷晃宏, 西岡國生, 庄司大, 佐藤美那, 磯部敏宏, 中島章, 立間徹, 松下祥子.
英文:	Daito Kobayashi, akihiro matsutani, Kunio Nishioka, Dai Shoji, Mina Sato, Toshihiro Isobe, Akira Nakajima, Toru Tatsuma, Sachiko Matsushita.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2014年3月19日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第61回応用物理学会春季学術講演会
英文:

開催地

和文:	相模原
英文: