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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Deflection properties of a MEMS Optical Scanner with Four Torsion Beam and L-shaped Arms 
著者
和文: 井関 隆之, 奥村 実紀雄, 菅原 孝, 黒澤 実.  
英文: T. Iseki, M. Okumura, T. Sugawara, M. K. Kurosawa.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Sensors & Actuators A: Physical 
巻, 号, ページ Vol. 178        pp. 154-163
出版年月 2012年5月 
出版者
和文: 
英文:Elsevier B.V. 
会議名称
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開催地
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英文: 

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