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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Iodine Solid Source Inductively Coupled Plasma Etching of InP 
著者
和文: 松谷晃宏, 大槻秀夫, 小山二三夫.  
英文: Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, FUMIO KOYAMA.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Japanese Journal of Applied Physics 
巻, 号, ページ Vol. 44    No. 19    pp. L576-L577
出版年月 2005年4月22日 
出版者
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会議名称
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開催地
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公式リンク http://iopscience.iop.org/1347-4065/44/4L/L576
 
DOI https://doi.org/10.1143/JJAP.44.L576

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