Dependence between Sheet Resistance and Annealing Temperature of Ni Germanide Formed by Multi-Layered Ni and Ge Films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Dependence between Sheet Resistance and Annealing Temperature of Ni Germanide Formed by Multi-Layered Ni and Ge Films

著者

和文:	元木雅章, 角嶋邦之, 片岡好則, 西山彰, 杉井信之, 若林整, 筒井一生, 名取研二, 岩井洋.
英文:	Masaaki Motoki, Kuniyuki KAKUSHIMA, Yoshinori Kataoka, Akira Nishiyama, Nobuyuki Sugii, Hitoshi Wakabayashi, KAZUO TSUTSUI, Kenji Natori, HIROSHI IWAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2014年

出版者

和文:
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会議名称

和文:
英文:	The Workshop on Future Trend of Nanoelectronics:WIMNACT 39

開催地

和文:
英文: