A novel filter rating method for less than 30nm particles

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A novel filter rating method for less than 30nm particles

著者

和文:	沼口徹, 水野豪仁, 並木彰久, 都築修一.
英文:	Toru Numaguchi, Takehito Mizuno, Akihisa Namiki, Syuichi Tsuzuki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing Conference Proceedings

巻, 号, ページ

p. 361

出版年月

2008年5月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

受賞情報

selected as the Best paper