RF マグネトロンスパッタリング法によるPt/MgO/Si （₀₀₁） ヘテロエピタキシャル成長薄膜電極の作製 ～PZT/Pt/MgO からのPZT/Pt 自立膜の作 製のためのエッチング条件の検討～

論文・著書情報

タイトル

和文:	RF マグネトロンスパッタリング法によるPt/MgO/Si （₀₀₁）ヘテロエピタキシャル成長薄膜電極の作製～PZT/Pt/MgO からのPZT/Pt 自立膜の作製のためのエッチング条件の検討～
英文:

著者

和文:	布目敬教, 坂元尚紀, 篠崎和夫, 鈴木久男, 脇谷尚樹.
英文:	Takanori Nunome, Naonori Sakamoto, KAZUO SHINOZAKI, Hisao Suzuki, naoki wakiya.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本セラミックス協会第25回秋季シンポジウム講演予稿集
英文:

巻, 号, ページ

3H24

出版年月

2012年9月19日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	日本セラミックス協会第25回秋季シンポジウム
英文:

開催地

和文:	名古屋
英文: