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論文・著書情報


タイトル
和文:AlGaN/GaN上のTi/C/TiN電極のコンタクト抵抗：Ti/C膜厚及び比率依存性 
英文: 
著者
和文: 松川佳弘, 岡本真里, 角嶋邦之, 片岡好則, 西山彰, 杉井信之, 若林整, 筒井一生, 名取研二, 岩井洋, 齋藤渉.  
英文: Yoshihiro Matsukawa, Mari Okamoto, Kuniyuki KAKUSHIMA, 片岡好則, Akira Nishiyama, Nobuyuki Sugii, Hitoshi Wakabayashi, KAZUO TSUTSUI, Kenji Natori, HIROSHI IWAI, 齋藤渉.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2014年 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第61回応用物理学会春季学術講演会 
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開催地
和文: 
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