Effects Of External Hydrostatic Pressure On Finished Surface In Silicon Cutting

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects Of External Hydrostatic Pressure On Finished Surface In Silicon Cutting

著者

和文:	吉野雅彦, 清水洋平, 河野健太郎, 寺野元規.
英文:	MASAHIKO YOSHINO, Youhei Shimizu, kentarou kouno, Motoki Terano.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Advanced Materials Research

巻, 号, ページ

Vol. 966-967 pp. 129-136

出版年月

2014年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI