Effect of Plasma Gas Species and Plasma Gas Temperature on Copper Oxide Removal

論文・著書情報

タイトル

和文:	Effect of Plasma Gas Species and Plasma Gas Temperature on Copper Oxide Removal
英文:	Effect of Plasma Gas Species and Plasma Gas Temperature on Copper Oxide Removal

著者

和文:	大下貴也, 宮原秀一, 沖野晃俊.
英文:	Oshita Takaya, hidekadzu miyahara, AKITOSHI OKINO.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

P3-04-01

出版年月

2014年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	The XXII Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases
英文:	The XXII Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases

開催地

和文:	Greifswald
英文:	Greifswald