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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Effects Of External Hydrostatic Pressure On Finished Surface In Silicon Cutting 
著者
和文: 吉野雅彦, 清水洋平, 河野健太郎, 寺野元規.  
英文: MASAHIKO YOSHINO, Youhei Shimizu, kentarou kouno, Motoki Terano.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Proceedings of ICTMP 2014 
巻, 号, ページ        
出版年月 2014年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:ICTMP 2014 
開催地
和文: 
英文:Darmstadt 

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