Deposition of segment-structured DLC films by FCVA method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Deposition of segment-structured DLC films by FCVA method

著者

和文:	近藤翔太, 齋藤啓, 松尾誠, 岩本喜直, 赤坂大樹, 大竹尚登.
英文:	Shota Kondou, Kei Saito, Makoto Matsuo, Yoshinao Iwamoto, Hiroki Akasaka, Naoto Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The15th Inteenational Conference on Precision Engineering(ICPE2014)

巻, 号, ページ

pp. 292-293

出版年月

2014年7月22日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The15th Inteenational Conference on Precision Engineering(ICPE2014)

開催地

和文:
英文:	kanazawa,Ishikawa