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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Low-temperature epitaxial growth of Ge-rich SiGe film on Si by Reactive Thermal Chemical Vapor Deposition 
著者
和文: 陶 科, 半那 純一.  
英文: Ke Tao, Jun-ichi Hanna.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         T9.18
出版年月 2013年12月4日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:2013MRS Fall Meeting 
開催地
和文: 
英文:Boston 

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