Roles of Hydrogen in Amorphous Oxide Semiconductor In-Ga-Zn-O: Comparison of Conventional and Ultra-High-Vacuum Sputtering

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Roles of Hydrogen in Amorphous Oxide Semiconductor In-Ga-Zn-O: Comparison of Conventional and Ultra-High-Vacuum Sputtering

著者

和文:	宮瀬貴也, Ken Watanabe, Isao Sakaguchi, Naoki Ohashi, Kay Domen, 野村研二, 平松秀典, 雲見日出也, 細野秀雄, 神谷利夫.
英文:	Takaya Miyase, Ken Watanabe, Isao Sakaguchi, Naoki Ohashi, Kay Domen, Kenji Nomura, Hidenori Hiramatsu, Hideya Kumomi, Hideo Hosono, Toshio Kamiya.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	ECS J. Solid State Sci. Technol.

巻, 号, ページ

Vol. 3 pp. Q3085-Q3090

出版年月

2014年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI