Deposition of stable isotopic amorphous carbon films from isotopic methane gases

論文・著書情報

タイトル

和文:	Deposition of stable isotopic amorphous carbon films from isotopic methane gases
英文:	Deposition of stable isotopic amorphous carbon films from isotopic methane gases

著者

和文:	鈴木裕太郎, 鈴木常生, 大竹尚登, 赤坂大樹.
英文:	Yutaro Suzuki, Tsuneo Suzuki, Naoto Ohtake, Hiroki Akasaka.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	Abstract book of ISPC 21
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2013年8月4日

出版者

和文:	International Plasma Chemistry Society
英文:

会議名称

和文:	ISPC 21 - 21st International Symposium on Plasma Chemistry
英文:	ISPC 21 - 21st International Symposium on Plasma Chemistry

開催地

和文:	Cairns
英文: