ブロック共重合体ミクロ相分離膜による多段転写プロセスに関する研究 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	ブロック共重合体ミクロ相分離膜による多段転写プロセスに関する研究
英文:	Study on Multiple Template Processes based on Microphase-separated Nanostructures of Block Copolymer Films

著者

和文:	山下七重.
英文:	Nanae Yamashita.

種別

種別:	学位論文(博士)論文要旨
国名:	日本

言語

Japanese

学位授与組織

東京工業大学

報告番号

甲第9827号

学位授与日

2015/03/26

審査員

彌田　智一, 長井　圭治, 原　亨和, 舟窪　浩, 和田　裕之, 田中　拓男.

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