Controlled polarity of sputter-deposited aluminum nitride on metals observed by aberration corrected scanning transmission electron microscopy

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Controlled polarity of sputter-deposited aluminum nitride on metals observed by aberration corrected scanning transmission electron microscopy

著者

和文:	春本高志, 三宮工, 松川洋平, 村石信二, 史蹟, 中村吉男, 沢田英敬, 田中崇之, 谷城康眞, 高柳邦夫.
英文:	T. Harumoto, T. Sannomiya, Y. Matsukawa, S. Muraishi, Ji Shi, Y. Nakamura, H. Sawada, T. Tanaka, Y. Tanishiro, K. Takayanagi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 113 No. 8 p. 084306

出版年月

2013年2月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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