A micro ultrasonic motor using a micro-machined cylindrical bulk PZT transducer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A micro ultrasonic motor using a micro-machined cylindrical bulk PZT transducer

著者

和文:	神田岳文, Akira Makino, Tomohisa Ono, 鈴森康一, Takeshi Morita, Minoru Kuribayashi Kurosawa.
英文:	Takefumi Kanda, Akira Makino, Tomohisa Ono, Koichi Suzumori, Takeshi Morita, Minoru Kuribayashi Kurosawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Sensors and Actuators A

巻, 号, ページ

Vol. 127 pp. 131-138

出版年月

2006年2月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI