Charge Compensation by Excess Oxygen in Amorphous In-Ga-Zn-O Films Deposited by Pulsed Laser Deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Charge Compensation by Excess Oxygen in Amorphous In-Ga-Zn-O Films Deposited by Pulsed Laser Deposition

著者

和文:	大類貴俊, Johannes Herms, 羽生有一郎, Shigenori Ueda, Ken Watanabe, Isao Sakaguchi, 大橋直樹, 平松秀典, 雲見日出也, 細野秀雄, 神谷利夫.
英文:	Takatoshi Orui, Johannes Herms, Yuichiro Hanyu, Shigenori Ueda, Ken Watanabe, Isao Sakaguchi, Naoki Ohashi, Hidenori Hiramatsu, Hideya Kumomi, Hideo Hosono, Toshio Kamiya.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Disp. Technol.

巻, 号, ページ

Vol. 11 pp. 518-522

出版年月

2015年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI