Origin of Lower Film Density and Larger Defect Density in Amorphous In-Ga-Zn-O Deposited at High Total Pressure

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Origin of Lower Film Density and Larger Defect Density in Amorphous In-Ga-Zn-O Deposited at High Total Pressure

著者

和文:	Jakub Grochowski, 羽生有一郎, 安部勝美, Jakub Kaczmarski, Jan Dyczewski, 平松秀典, 雲見日出也, 細野秀雄, 神谷利夫.
英文:	Jakub Grochowski, Yuichiro Hanyu, Katsumi Abe, Jakub Kaczmarski, Jan Dyczewski, Hidenori Hiramatsu, Hideya Kumomi, Hideo Hosono, Toshio Kamiya.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Disp. Technol.

巻, 号, ページ

Vol. 11 pp. 523-527

出版年月

2015年

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI