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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Fabrication and Application of Micro Diaphragm-type Electromagnetic Actuators Utilizing Thin Film Permanent Magnet 
著者
和文: ZHICHAO.  
英文: Chao Zhi.  
種別
種別:学位論文(博士)審査の要旨 
国名:Japan 
言語 English 
学位授与組織 Tokyo Institute of Technology 
報告番号 甲第9692号 
学位授与日 2014/12/31 
審査員  
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