不均一構造アダマント薄膜の生成と特性評価 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	不均一構造アダマント薄膜の生成と特性評価
英文:	Deposition and Characterization of Non-uniform Structure Adamant Films

著者

和文:	KamisShahira Liza.
英文:	Shahira Liza Binti Kamis.

種別

種別:	学位論文(博士)要約
国名:	日本

言語

Japanese

学位授与組織

東京工業大学

報告番号

甲第9968号

学位授与日

2015/09/25

審査員

大竹　尚登, 野崎　智洋, 平田　敦, 因幡　和晃, 赤坂　大樹.

ファイル

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