不均一構造アダマント薄膜の生成と特性評価 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	不均一構造アダマント薄膜の生成と特性評価
英文:	Deposition and Characterization of Non-uniform Structure Adamant Films

著者

和文:	KamisShahira Liza.
英文:	Shahira Liza Binti Kamis.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:	Japan

言語

English

学位授与組織

Tokyo Institute of Technology

報告番号

甲第9968号

学位授与日

2015/09/25

審査員

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