Improvement of the nucleation density and orientation of diamond nuclei on 3C-SiC/Si Substrates by using high-power density plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Improvement of the nucleation density and orientation of diamond nuclei on 3C-SiC/Si Substrates by using high-power density plasma

著者

和文:	矢板潤也, 岩崎孝之, Meralys Reyes-Natal, Stephen E. Saddow, 波多野睦子.
英文:	Junya Yaita, Takayuki Iwasaki, Meralys Reyes-Natal, Stephen E. Saddow, Mutsuko Hatano.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2015年5月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	9th International Conference on New Diamond and Nano Carbons 2015

開催地

和文:
英文:	Shizuoka