Low-loss Waveguide Fabrication in III-V/SOI Hybrid Integration using Plasma Activated Bonding

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Low-loss Waveguide Fabrication in III-V/SOI Hybrid Integration using Plasma Activated Bonding

著者

和文:	鈴木純一, 林侑介, 久能雄輝, 雨宮智宏, 西山伸彦, 荒井滋久.
英文:	Junichi Suzuki, Yuusuke Hayashi, Yuki Kuno, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama, Shigehisa Arai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

No. TuP22

出版年月

2015年8月3日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	International Nano Optelectronics Workshop 2015

開催地

和文:
英文:	Tokyo