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論文・著書情報


タイトル
和文:シリコンの異方性エッチングを用いた細胞破砕デバイスの作製 
英文: 
著者
和文: 宮川, 栁田, 初澤.  
英文: Yuta Miyagawa, Yasuko YANAGIDA, TAKESHI HATSUZAWA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2015年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集 
英文: 
巻, 号, ページ     No. 15   
出版年月 2015年9月4日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:2015年度精密工学会秋季大会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:宮城県 
英文: 

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