Formation, processing and characterization of Co-Sn intermetallic compounds for potential integration in 3D interconnects

論文・著書情報

タイトル

和文:	Formation, processing and characterization of Co-Sn intermetallic compounds for potential integration in 3D interconnects
英文:	Formation, processing and characterization of Co-Sn intermetallic compounds for potential integration in 3D interconnects

著者

和文:	Vakanas George, Minho O, Biljana Dimcic, Kris Vanstreels, Bjorn Vandecasteele, Inge De Preter, Jaber Derakhshandeh, Kenneth Rebibis, 梶原正憲, Ingrid De Wolf, Eric Beyne.
英文:	George Vakanas, Minho O, Biljana Dimcic, Kris Vanstreels, Bjorn Vandecasteele, Inge De Preter, Jaber Derakhshandeh, Kenneth Rebibis, Masanori Kajihara, Ingrid De Wolf, Eric Beyne.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Microelectronic Engineering
英文:	Microelectronic Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 140 pp. 72-80

出版年月

2015年6月

出版者

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会議名称

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開催地

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