超磁歪素子の自己検知機能を利用した微小位置決め機構の開発

論文・著書情報

タイトル

和文:	超磁歪素子の自己検知機能を利用した微小位置決め機構の開発
英文:	Nano-positioning system using self-sensing function of giant magnetostrictive actuator

著者

和文:	田村勇樹, 吉岡勇人, 新野秀憲, 澤野宏.
英文:	Yuuki Tamura, Hayato Yoshioka, Hidenori Shinno, Hiroshi Sawano.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会論文集
英文:	Transactions of the JSME

巻, 号, ページ

Vol. 81 No. 832 pp. 1-13

出版年月

2015年12月25日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI