AlGaN/GaN系HEMTにおけるオーミック電極のコンタクト抵抗低減に関する研究 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	AlGaN/GaN系HEMTにおけるオーミック電極のコンタクト抵抗低減に関する研究
英文:

著者

和文:	武井優典.
英文:	Yusuke Takei.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:	日本

言語

Japanese

学位授与組織

東京工業大学

報告番号

甲第10218号

学位授与日

2016/03/26

審査員

筒井一生, 若林整, 渡辺正裕, 大見俊一郎, 角嶋邦之, 羽田野渉.

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