レーザダイシングにおける加工条件がSiCウェハの加工精度に及ぼす影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	レーザダイシングにおける加工条件がSiCウェハの加工精度に及ぼす影響
英文:	Influence of Machining Conditions on Cut Quality of Laser Diced SiC Wafer

著者

和文:	バチスタレアンドロ, 酒井康徳, 朱疆, 吉岡勇人.
英文:	Leandro Batista Da Silva, Yasunori Sakai, JIANG ZHU, Hayato Yoshioka.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会関東支部第22期総会講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

No. 160-1

出版年月

2016年3月10日

出版者

和文:	日本機械学会
英文:

会議名称

和文:	日本機械学会関東支部第22期総会講演会
英文:

開催地

和文:	東京
英文:	Tokyo