Growth of epitaxial orthorhombic YO1.5-substituted HfO2 thin film

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Growth of epitaxial orthorhombic YO1.5-substituted HfO2 thin film

著者

和文:	清水荘雄, Kiliha Katayama, 木口賢紀, Akihiro Akama, Toyohiko J. Konno, 舟窪浩.
英文:	Takao Shimizu, Kiliha Katayama, Takanori Kiguchi, Akihiro Akama, Toyohiko J. Konno, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Appl. Phys. Lett.

巻, 号, ページ

Vol. 107 pp. 032910-1-5

出版年月

2015年7月24日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI