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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Deposition and Characterization of Segment-structured Tetrahedral Amorphous Carbon Films 
著者
和文: 大竹 尚登.  
英文: Naoto Ohtake.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2016年3月29日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:International Conference on Materials Processing Technology 2016 
開催地
和文:東京 
英文: 

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