微結晶太陽電池用高圧・狭ギャップVHFプラズマにおけるイオン流れ計測

論文・著書情報

タイトル

和文:	微結晶太陽電池用高圧・狭ギャップVHFプラズマにおけるイオン流れ計測
英文:	Ion flow measurement in high pressure and narrow electrode gap VHF plasma for microcrystalline silicon solar cells

著者

和文:	廣井誉, 杉原拓実, 田中雅慶.
英文:	Homare Hiroi, Takumi Sugihara, Masayoshi Tanaka.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2009年12月1日

出版者

和文:	プラズマ・核融合学会
英文:	The Japan Society of Plasma Science and Nuclear Fusion Research

会議名称

和文:	第26回プラズマ・核融合学会年会
英文:

開催地

和文:	京都
英文:	Kyoto

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