微結晶シリコン薄膜用高圧・狭ギャップVHFプラズマ特性

論文・著書情報

タイトル

和文:	微結晶シリコン薄膜用高圧・狭ギャップVHFプラズマ特性
英文:	Characteristics of VHF plasma for microcrystalline silicon solar cells produced under the high pressure and narrow electrode-gap condition

著者

和文:	杉原拓実, 酒井洋輔, 廣井誉, 田中雅慶, 河合良信.
英文:	Takumi Sugihara, Yousuke Sakai, Homare Hiroi, Masayoshi Tanaka, Yoshinobu Kawai.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2010年12月3日

出版者

和文:	プラズマ・核融合学会
英文:	The Japan Society of Plasma Science and Nuclear Fusion Research

会議名称

和文:	第27回プラズマ・核融合学会年会
英文:

開催地

和文:	北海道
英文:	Hokkaido

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