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論文・著書情報
タイトル
和文:
ガス加熱トライオードプラズマCVD法による低温成長a-Si:Hの高品質化
英文:
著者
和文:
新倉 ちさと, Sichanugrist Porponth,
宮島 晋介
, 市川 幸美,
小長井 誠
.
英文:
新倉 ちさと, Sichanugrist Porponth,
Shinsuke Miyajima
, 市川 幸美,
MAKOTO KONAGAI
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
英文:
巻, 号, ページ
出版年月
2016年3月19日
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
第63回応用物理学会春季学術講演会
英文:
開催地
和文:
東京
英文:
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