レーザプロセスによるワイドギャップβ-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜の低温エピタキシー

論文・著書情報

タイトル

和文:	レーザプロセスによるワイドギャップβ-Ga₂O₃薄膜の低温エピタキシー
英文:	Low temperature epitaxy of wide bandgap β-Ga₂O₃ thin films by laser processing

著者

和文:	松田晃史, 塩尻大氏, 福田大二, 内田啓貴, 土嶺信男, 金子智, 吉本護.
英文:	Akifumi Matsuda, Daishi Shiojiri, Daiji Fukuda, Hiroki Uchida, Nobuo Tsuchimine, Satoru Kaneko, Mamoru Yoshimoto.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本セラミックス協会 2016年年会講演予稿集
英文:	Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan, 2016, Abstracts

巻, 号, ページ

出版年月

2016年3月14日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	日本セラミックス協会 2016年年会
英文:	Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan, 2016

開催地

和文:	東京
英文:	Tokyo