In-situ observation of formation of eutectic structures between gold and silicon

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	In-situ observation of formation of eutectic structures between gold and silicon

著者

和文:	石田忠, Laurent Jalabert, 藤田博之.
英文:	Tadashi Ishida, Laurent Jalabert, Hiroyuki Fujita.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2012年5月23日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	3rd IEEE Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration

開催地

和文:
英文:	Tokyo