MEMS combined with TEM Setup for Nanotribology

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	MEMS combined with TEM Setup for Nanotribology

著者

和文:	佐藤隆昭, 石田忠, 鍋屋信介, Laurent Jalabert, 藤田博之.
英文:	Takaaki Sato, Tadashi Ishida, Shinsuke Nabeya, Laurent Jalabert, Hiroyuki Fujita.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2013年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 23rd ASME Annual Conference on Information Storage and Process Systems

開催地

和文:
英文:	California