Toward a Lab-in-a-TEM by mounting advanced-MEMS in TEM holder

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Toward a Lab-in-a-TEM by mounting advanced-MEMS in TEM holder

著者

和文:	Laurent Jalabert, 佐藤隆昭, 石田忠, Guillou Herve, 江川実, 鍋屋信介, 高山由貴, Volz Sebastian, 藤田博之.
英文:	Laurent Jalabert, Takaaki Sato, Tadashi Ishida, Guillou Herve, Minoru Egawa, Shinsuke Nabeya, Yuki Takayama, Sebastian Volz, Hiroyuki Fujita.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2012年9月19日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	38th International conference on Micro and Nano Eengineering

開催地

和文:
英文:	Toulouse