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タイトル
和文:Hydrogenated amorphous carbon and carbon nitride films deposited at low pressure by plasma enhanced chemical vapor deposition 
英文:Hydrogenated amorphous carbon and carbon nitride films deposited at low pressure by plasma enhanced chemical vapor deposition 
著者
和文: Y. Miyajima, S. J. Henley, S Ravi P Silva.  
英文: Y. Miyajima, S. J. Henley, S Ravi P Silva.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文:Thin Solid Films 
英文:Thin Solid Films 
巻, 号, ページ Vol. 519        pp. 6374-6380
出版年月 2011年4月17日 
出版者
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会議名称
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開催地
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公式リンク <Go to ISI>://WOS:000292720000032
 
DOI https://doi.org/10.1016/j.tsf.2011.04.040

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