電子ビーム蒸着と高圧水蒸気熱処理による低損失アモルファスシリコン光導波路作製プロセス | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	電子ビーム蒸着と高圧水蒸気熱処理による低損失アモルファスシリコン光導波路作製プロセス
英文:

著者

和文:	山下雄也.
英文:	Yuya Yamashita.

種別

種別:	学位論文(学部)
国名:	日本

言語

Japanese

学位授与組織

東京農工大学

報告番号

学工第1695号

学位授与日

2016/03/25

審査員

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