熱ナノインプリント法を用いた透明ポリイミドシートへの単原子ステップパターンの転写と表面超平坦化

論文・著書情報

タイトル

和文:	熱ナノインプリント法を用いた透明ポリイミドシートへの単原子ステップパターンの転写と表面超平坦化
英文:	Transcription of atomic step pattern and surface ultra-flattening on transparent polyimide sheets by thermal nanoimprint process

著者

和文:	嶋田航大, 譚ゴオン, 野沢靖久, 浦上達宣, 小山浩司, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Kodai Shimada, Geng Tan, Yasuhisa Nozawa, Tatsuhiro Urakami, Koji Koyama, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第76回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集
英文:	The 76th JSAP Autumn Meeting, 2015 Extended Abstracts

巻, 号, ページ

出版年月

2015年9月1日

出版者

和文:	公益社団法人応用物理学会
英文:	The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	第76回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 76th JSAP Autumn Meeting, 2016

開催地

和文:	愛知県名古屋市
英文:	Nagoya City

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