紫外レーザーアニーリングによるGa<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜の室温配向結晶化

論文・著書情報

タイトル

和文:	紫外レーザーアニーリングによるGa₂O₃薄膜の室温配向結晶化
英文:	Room-temperature oriented crystallization of Ga₂O₃ thin films by UV laser annealing

著者

和文:	塩尻大士, 福田大二, 山内涼輔, 金子智, 土嶺信男, 織田真也, 松田晃史, 吉本護.
英文:	daishi shiojiri, Daiji Fukuda, Ryosuke Yamauchi, Satoru Kaneko, Nobuo Tsuchimine, Masaya Oda, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第75回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集
英文:	The 75th JSAP Autumn Meeting, 2014 Extended Abstracts

巻, 号, ページ

出版年月

2014年9月1日

出版者

和文:	公益社団法人応用物理学会
英文:	The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	第75回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 75th JSAP Autumn Meeting, 2014

開催地

和文:	北海道札幌市
英文:	Sapporo City

公式リンク