High Mechanical Strength in Gold Films Electroplated with Supercritical Carbon Dioxide for MEMS Applications

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High Mechanical Strength in Gold Films Electroplated with Supercritical Carbon Dioxide for MEMS Applications

著者

和文:	TangHao-Chun, 陳君怡, Chang Tso-Fu Mark, 山根大輔, 町田克之, 益一哉, 曽根正人.
英文:	Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 15a-B10-13

出版年月

2016年9月13日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第77回応用物理学会秋季学術講演会
英文:

開催地

和文:	新潟県
英文:

公式リンク