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論文・著書情報


タイトル
和文:微細孔を利用したアモルファスカーボン膜の密着性の向上 
英文: 
著者
和文: 水田翔太, 張浩, 西村優汰, 青野祐子, 平田敦.  
英文: Shouta Mizuta, 張浩, Yuta Nishimura, Yuko Aono, ATSUSHI HIRATA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2016年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 719-729
出版年月 2016年3月15日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:2016年度精密工学会春季大会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:千葉 
英文: 

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