ダイヤモンド状炭素系膜の耐薬品性能評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	ダイヤモンド状炭素系膜の耐薬品性能評価
英文:	Evaluation of chemical resistance on diamond-like carbon and related films

著者

和文:	赤坂大樹1, 鈴木常生, 中野雅之, 神田一浩, 大竹尚登.
英文:	Hiroki Akasaka, Tsuneo Suzuki, Masayuki Nakano, Kazuhiro Kanda, Naoto Ohtake.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第77回応用物理学会秋季学術講演会要旨集 CDROM 14p-A23-1~9]
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2016年9月14日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第77回応用物理学会秋季学術講演会
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開催地

和文:	新潟
英文: