リフトオフによる単結晶薄膜 Si 太陽電池作製用 2 層ポーラス Si のナノ表面粗さの低減

論文・著書情報

タイトル

和文:	リフトオフによる単結晶薄膜 Si 太陽電池作製用 2 層ポーラス Si のナノ表面粗さの低減
英文:	Decreasing nano surface roughness of double layer porous Si for monocrystalline thin film Si solar cell by lift-off

著者

和文:	高澤千明, Lukianov Anatolii, 村上和生, 伊原学.
英文:	Chiaki Takazawa, Lukianov Anatolii, Kazuki Murakami, Manabu Ihara.

言語

Japanese

掲載誌/書名

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巻, 号, ページ

出版年月

2016年3月

出版者

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会議名称

和文:	化学工学会第81年会
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開催地

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