異種機能デバイスの三次元集積化の研究 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	異種機能デバイスの三次元集積化の研究
英文:	A study on three-dimensional integration of heterogeneous functional devices

著者

和文:	川野連也.
英文:	unknown unknown.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:	日本

言語

Japanese

学位授与組織

東京工業大学

報告番号

甲第7424号

学位授与日

2008/09/25

審査員

益一哉.

ファイル

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