Heteroepitaxial Growth of Highly-Oriented Diamond Films on 3C-SiC / Si (111) Substrates by Pulse Bias Enhanced Nucleation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Heteroepitaxial Growth of Highly-Oriented Diamond Films on 3C-SiC / Si (111) Substrates by Pulse Bias Enhanced Nucleation

著者

和文:	須藤建瑠, 矢板潤也, 岩崎孝之, 波多野睦子.
英文:	Takeru Suto, Junya Yaita, Takayuki Iwasaki, Mutsuko Hatano.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2017年11月28日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2016 MRS Fall Meeting & Exhibit

開催地

和文:
英文:	Boston